| 发明名称 |
THIN FILM DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5955368(A) |
申请公布日期 |
1984.03.30 |
| 申请号 |
JP19830150113 |
申请日期 |
1983.08.17 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
JIERAARU BURANDONE;MISHIERU KUURU;IBU RAGARUDO |
| 分类号 |
C25D9/00;B05D1/04;C03C17/245;C23C14/24;C23C16/448;C23C16/50;C23C18/02;C23C26/00;C25D5/20 |
主分类号 |
C25D9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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