| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN HALBLEITEREINRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3334337(A1) |
申请公布日期 |
1984.03.29 |
| 申请号 |
DE19833334337 |
申请日期 |
1983.09.22 |
| 申请人 |
HITACHI,LTD. |
发明人 |
ANZAI,NORIO;YASUOKA,HIDEKI |
| 分类号 |
H01L27/06;H01L21/205;H01L21/225;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8249;(IPC1-7):01L21/72;01L21/316 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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