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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERCHIPS-FILMTRAEGERN
摘要
申请公布号 DE3235702(A1) 申请公布日期 1984.03.29
申请号 DE19823235702 申请日期 1982.09.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 KOCH,DIRK
分类号 H01L21/48;H05K1/00;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):H01L21/96 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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