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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITEREINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3334153(A1) 申请公布日期 1984.03.29
申请号 DE19833334153 申请日期 1983.09.21
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 NAGASAWA,KOUICHI;IKEDA,SHUJI;SUZUKI,NORIO;SAKAI,YOSHIO
分类号 H01L27/092;H01L21/033;H01L21/762;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/105;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/72 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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