发明名称 ELEKTRONISCHE EINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3331624(A1) 申请公布日期 1984.03.29
申请号 DE19833331624 申请日期 1983.09.01
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 INABA,TOHRU
分类号 H01L23/522;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/28;H01L23/52;H01L23/532;H01L23/58;(IPC1-7):01L23/56;01L23/30;01L21/94;01L21/88 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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