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发明名称 VERFAHREN ZUM HERVORHEBEN EINES OBJEKTBEREICHS IN EINEM RASTERMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE3235727(A1) 申请公布日期 1984.03.29
申请号 DE19823235727 申请日期 1982.09.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 FAZEKAS,PETER,DIPL.-ING.;OTTO,JOHANN,DIPL.-ING.
分类号 H01J37/22;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;H01L21/66 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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