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发明名称 PROJECTION IMAGING
摘要
申请公布号 GB2126740(A) 申请公布日期 1984.03.28
申请号 GB19830021335 申请日期 1983.08.08
申请人 * HITACHI LTD;* HITACHI OME ELECTRONIC CO LTD 发明人 KOYO * MORITA;KEIZO * NOMURA;HIROSHI * NISHIZUKA;TAI * HOSHI;YOICHIRO * TAMIYA;TERUSHIGE * ASAKAWA
分类号 G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03B27/32 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
主权项
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