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发明名称 VERFAHREN ZUR AETZTIEFENMESSUNG
摘要
申请公布号 DD208270(A1) 申请公布日期 1984.03.28
申请号 DD19810234353 申请日期 1981.10.26
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD 发明人 OESTERLE,REINHARD,DD;SCHMIDT,ERICH,DD;RITZEL,OTTO,DD
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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