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经营范围
发明名称
METHOD FOR SPUTTERING METAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPS5952526(A)
申请公布日期
1984.03.27
申请号
JP19820158414
申请日期
1982.09.10
申请人
FUJITSU KK
发明人
NAGASHIMA SETSUO
分类号
H01J37/32;B01J19/08;C23C14/08
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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