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发明名称 반도체막의 제조 방법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840000980(A) 申请公布日期 1984.03.26
申请号 KR19820003113 申请日期 1982.07.12
申请人 null, null 发明人 시모모도 야스하루 (외 3)
分类号 H01L31/0248;C23C14/00;C23C16/24;H01L21/205;H01L21/31;H01L27/146;H01L31/20 主分类号 H01L31/0248
代理机构 代理人
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