发明名称 COMPOSITIONALLY VARIED MATERIALS WITH APPLICATIONS IN THE¹PRODUCTION OF SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 IE832237(L) 申请公布日期 1984.03.23
申请号 IE19830002237 申请日期 1983.09.23
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES INC 发明人
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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