| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNING A MASK AND A SUBSTRATE USING INFRARED RADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3588347(A) |
申请公布日期 |
1971.06.28 |
| 申请号 |
USD3588347 |
申请日期 |
1969.03.13 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INC. |
发明人 |
LIBER J. MONTONE;DONALD C. WALLS |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/00;(IPC1-7):H04N7/18 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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