| 发明名称 |
PLASMA POSITION SHAPE CONTROLLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5949200(A) |
申请公布日期 |
1984.03.21 |
| 申请号 |
JP19820158162 |
申请日期 |
1982.09.13 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK |
发明人 |
KINOSHITA SHIGEMI;YOSHIOKA TAKESHI;KOBAYASHI TOMOFUMI |
| 分类号 |
G21B1/11;G21B1/00;G21B1/25;H05H1/12 |
主分类号 |
G21B1/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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