| 发明名称 |
A METHOD FOR MEASUREMENT OF TEMPERATURE DISTRIBUTION OVER THE SURFACE OF A SAMPLE, AND A SYSTEM FOR PERFORMING SUCH MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0026673(B1) |
申请公布日期 |
1984.03.21 |
| 申请号 |
EP19800303456 |
申请日期 |
1980.10.01 |
| 申请人 |
VLSI TECHNOLOGY RESEARCH ASSOCIATION |
发明人 |
KOBAYASHI, IKURO;SHIMIZU, KYOZO C/O NIPPON ELECTRIC COMPANY LIMITED |
| 分类号 |
G01J5/48;G01J5/00;G01J5/10;G01K1/02;G01N25/72;G01R31/265;G01R31/308;(IPC1-7):01J5/00;01R31/28;01K1/02;01N25/72 |
主分类号 |
G01J5/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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