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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM FIXIEREN VON MASKE UND HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号 DD208012(A1) 申请公布日期 1984.03.21
申请号 DD19810233972 申请日期 1981.10.09
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 NEPPE,HANS,DD;KOCH,KURT,DD;WESTPHAL,PETER,DD
分类号 G03F7/20;G03F7/22;G03F7/26;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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