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发明名称 Piezoelectric actuator
摘要 A low voltage, high frequency actuator for correcting distortions in laser optics systems.
申请公布号 US4438364(A) 申请公布日期 1984.03.20
申请号 US19810282478 申请日期 1981.07.13
申请人 THE GARRETT CORPORATION 发明人 MORISON, RODNEY
分类号 H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/10 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
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