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发明名称
摘要
申请公布号 DE3018569(C2) 申请公布日期 1984.03.15
申请号 DE19803018569 申请日期 1980.05.14
申请人 HITACHI, LTD., TOKYO, JP 发明人 HATAYAMA, SHIGEHARU, MOBARA, JP;YAMAUCHI, MASAAKI, TOGANE, JP;IKEDA, MAMORU, MOBARA, JP
分类号 H01J3/02;H01J9/02;H01J9/14;H01J9/18;H01J29/48;H01J29/50;H01J29/56;(IPC1-7):H01J29/50;H01J31/20 主分类号 H01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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