发明名称 |
CONTINUOUS PREPARATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5945917(A) |
申请公布日期 |
1984.03.15 |
申请号 |
JP19820151788 |
申请日期 |
1982.09.02 |
申请人 |
DENKI KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
YAMADA MITSUNORI;ISHII MASAJI |
分类号 |
C01B33/02;C01B33/027;C01B33/029;C01B33/03 |
主分类号 |
C01B33/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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