发明名称 CONTINUOUS PREPARATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPS5945917(A) 申请公布日期 1984.03.15
申请号 JP19820151788 申请日期 1982.09.02
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 YAMADA MITSUNORI;ISHII MASAJI
分类号 C01B33/02;C01B33/027;C01B33/029;C01B33/03 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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