| 发明名称 |
COOLED CLOSURE FOR REACTION TUBES, ESPECIALLY IN THE MANUFACTURE OF SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0040646(B1) |
申请公布日期 |
1984.03.14 |
| 申请号 |
EP19800107641 |
申请日期 |
1980.12.04 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHILLER, PETER, DIPL.-ING. |
| 分类号 |
H01L21/31;B01J3/03;B01J19/00;C30B25/08;C30B31/10;F16L53/00;F16L55/10;H01L21/22;(IPC1-7):B01J3/03 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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