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发明名称 END POINT DETECTOR OF DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5943881(A) 申请公布日期 1984.03.12
申请号 JP19820154404 申请日期 1982.09.02
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 HARADA SHIGERU
分类号 C23F4/00;C23F1/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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