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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TRANSPORT OF A SUBSTRATE.
摘要
申请公布号 EP0088091(A4) 申请公布日期 1984.03.09
申请号 EP19820902651 申请日期 1982.08.25
申请人 BOK, EDWARD 发明人 BOK, EDWARD
分类号 B65G51/02;G03F7/16;H01L21/00;H01L21/67;H01L21/677;H05K13/02;(IPC1-7):H01L21/68;B65G51/00 主分类号 B65G51/02
代理机构 代理人
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