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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER 2-EBENEN-METALLISIERUNG FUER HALBLEITERBAUELEMENTE, INSBESONDERE FUER LEISTUNGSHALBLEITERBAUELEMENTE WIE THYRISTOREN
摘要
申请公布号 DE3232837(A1) 申请公布日期 1984.03.08
申请号 DE19823232837 申请日期 1982.09.03
申请人 SIEMENS AG 发明人 HERBERG,HELMUT,DR.
分类号 H01L29/73;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/306;H01L21/331;H01L23/482;H01L29/41;H01L29/45;H01L29/74;(IPC1-7):01L21/28;01L23/48;01L21/44 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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