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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3331601(A1) 申请公布日期 1984.03.08
申请号 DE19833331601 申请日期 1983.09.01
申请人 CANON K.K. 发明人 NAKAGIRI,TAKASHI;HIRAI,YUTAKA;OSADA,YOSHIYUKI
分类号 H01L29/04;H01L29/16;H01L29/786;H01L31/0368;H01L31/113;(IPC1-7):H01L29/04;H01L29/78;H01L31/02;G09F9/35;G02F1/01 主分类号 H01L29/04
代理机构 代理人
主权项
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