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发明名称 INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3327301(A1) 申请公布日期 1984.03.08
申请号 DE19833327301 申请日期 1983.07.28
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 UCHIDA,AKIHISA;OKADA,DAISUKE;TAKAKURA,TOSHIHIKO;OGIUE,KATSUMI;TAMAKI,YOICHI;KAWAMURA,MASAO
分类号 H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L21/768;H01L23/522;H01L29/73;(IPC1-7):01L27/04;01L21/76;01L21/72 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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