| 摘要 |
Bei einem Verfahren zur Thermomigration flüssiger Phasen in einem Temperaturgradienten, bei dem von einer Metallschicht (2) auf einem Halbleitersubstrat (1) ausgegangen wird, werden die Metallschicht (2) auf eine ebene Substratoberfläche (11) aufgebracht, der Temperaturgradient im Vakuum durch zwei parallele, gleichmässig heizbare Flächen (5, 6) erzeugt und dadurch umgekehrt, dass gleichzeitig die Temperatur der wärmeren Fläche erniedrigt und die der kälteren Fläche erhöht wird. Aufgrund der gleichmässigen Temperaturverteilung ergibt sich eine Verringerung in der Zahl der Verfahrensschritte bei gleichzeitig guten Resultaten. |
