Tunnel magnetron for cathode sputtering,申请号GB19830018426-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Tunnel magnetron for cathode sputtering
摘要
申请公布号	GB2125441(A)	申请公布日期	1984.03.07
申请号	GB19830018426	申请日期	1983.07.07
申请人	CHRISTOPHER * ELPHICK;ALI REZA * NYAIESH	发明人	CHRISTOPHER * ELPHICK;ALI REZA * NYAIESH
分类号	H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00	主分类号	H01J37/34
代理机构		代理人
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