发明名称 REACTIVE PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5941478(A) 申请公布日期 1984.03.07
申请号 JP19820053136 申请日期 1982.03.31
申请人 FUJITSU KK 发明人 AMEMORI KAZUHIKO;ASAUCHI YOSHIMICHI
分类号 C23F4/00;C23F1/00;G11B5/31;G11B21/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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