发明名称 METHOD OF DETERMINATION OF SURFACE CHARGE IN MOS STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU1078363(A1) 申请公布日期 1984.03.07
申请号 SU19823492143 申请日期 1982.09.16
申请人 KONDRATENKO TIMOFEJ YA,SU;KONONENKO IGOR N,SU;BYKOV VLADIMIR A,SU;KUZNETSOV OLEG A,SU 发明人 KONDRATENKO TIMOFEJ YA,SU;KONONENKO IGOR N,SU;BYKOV VLADIMIR A,SU;KUZNETSOV OLEG A,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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