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发明名称 PRODUCTION PROCESS OF SILION TETRACHLORIDE
摘要
申请公布号 EP0077138(A3) 申请公布日期 1984.03.07
申请号 EP19820305032 申请日期 1982.09.23
申请人 UBE INDUSTRIES, LTD. 发明人 IWAI, TADASHI;MIZUNO, HISAYUKI;MIURA, MASAO
分类号 C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/10 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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