MANUFACTURE OF PATTERNED THIN SILICON FILM,申请号JP19820149350-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF PATTERNED THIN SILICON FILM
摘要
申请公布号	JPS5939712(A)	申请公布日期	1984.03.05
申请号	JP19820149350	申请日期	1982.08.30
申请人	KOGYO GIJUTSUIN (JAPAN);TOA NENRYO KOGYO KK	发明人	TANAKA KAZUNOBU;MATSUDA AKIHISA;KUMAGAI KEIJI
分类号	H01L21/205;C01B33/02;C23C16/24;C23C16/50	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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