发明名称 METHOD FOR SYNTHESIZING SILICON NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS5939704(A) 申请公布日期 1984.03.05
申请号 JP19820146815 申请日期 1982.08.26
申请人 ASAHI GLASS KK 发明人 KOMUTA HITOSHI;OOTA YUKINORI
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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