发明名称 CLEAN STORAGE BOX
摘要
申请公布号 JPS5939019(A) 申请公布日期 1984.03.03
申请号 JP19820147658 申请日期 1982.08.27
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SUZUKI MICHIO;FUKUDA MUNEHARU
分类号 B08B15/02;H01L21/02;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 B08B15/02
代理机构 代理人
主权项
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