| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE REFONTE D'UNE COUCHE DE VERRE AU PHOSPHOSILICATE.</P><P>LE PROCEDE CONSISTE ESSENTIELLEMENT A INTRODUIRE UN ARTICLE 37 REVETU D'UNE COUCHE DE VERRE AU PHOSPHOSILICATE DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT 24, A REDUIRE 32, 33 LA PRESSION DANS CETTE CHAMBRE DE TRAITEMENT, ET A CHAUFFER L'ARTICLE DANS LA CHAMBRE PAR UNE SOURCE A CORPS NOIR 35 POSSEDANT UNE CARACTERISTIQUE DE FLUX D'ENERGIE PLANE ET CONSTANTE, L'ARTICLE ETANT CHAUFFE PENDANT UN TEMPS SUFFISANT ET A UNE TEMPERATURE SUFFISANTE POUR ENTRAINER UN ECOULEMENT PLASTIQUE DE LA COUCHE DE VERRE.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT AU TRAITEMENT DES COMPOSANTS SEMI-CONDUCTEURS.</P>
|
