| 发明名称 |
EVAPORATION VESSEL FOR VACUUM EVAPORATION DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5938384(A) |
申请公布日期 |
1984.03.02 |
| 申请号 |
JP19830132021 |
申请日期 |
1983.07.21 |
| 申请人 |
RAIBORUTO HEREUSU GMBH |
发明人 |
ARUBERUTO FUOIAASHIYUTAIN;KURAUSUUYURUGEN HAIMUBATSUHA;HERUMUUTO BUARUSHIYAITO |
| 分类号 |
C23C14/24;B01D1/00;C23C14/30;H01J37/305 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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