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发明名称 BEHANDLUNGSVERFAHREN ZUM HERBEIFUEHREN PLASTISCHEN FLIESSENS EINER GLASSCHICHT AUF EINEM HALBLEITERPLAETTCHEN
摘要
申请公布号 DE3330032(A1) 申请公布日期 1984.03.01
申请号 DE19833330032 申请日期 1983.08.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES,INC. 发明人 FRANCIS DOWNEY,DANIEL
分类号 C03C3/097;C03C3/16;C03C4/16;C03C8/08;H01L21/3105;H01L21/316;(IPC1-7):B05D3/06;B05D5/12;H01L21/32;H01L21/56 主分类号 C03C3/097
代理机构 代理人
主权项
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