发明名称
摘要
申请公布号 JPS59500340(A) 申请公布日期 1984.03.01
申请号 JP19830500904 申请日期 1983.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L23/48;A61M5/148;B04B5/04;G01N15/04;G01N15/05;H01L23/50 主分类号 H01L23/48
代理机构 代理人
主权项
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