| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ACHIEVING SPATIALLY UNIFORM EXTERNALLY EXCITED NON-THERMAL CHEMICAL REACTIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2124924(A) |
申请公布日期 |
1984.02.29 |
| 申请号 |
GB19830012094 |
申请日期 |
1983.05.04 |
| 申请人 |
* ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS INC |
发明人 |
GEORGE M * ENGLE |
| 分类号 |
H01L21/205;B01J12/00;B01J19/08;C23C16/509;C30B25/10;C30B33/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):B01J19/08 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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