| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REGELUNG DER VERDAMPFUNGSRATE OXIDIERBARER STOFFE BEIM REAKTIVEN VAKUUMAUFDAMPFEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH641498(A5) |
申请公布日期 |
1984.02.29 |
| 申请号 |
CH19790006770 |
申请日期 |
1979.07.20 |
| 申请人 |
LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
WALTER ZUELTZKE;KLAUS-JUERGEN HEIMBACH |
| 分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C13/04 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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