发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5935445(A) 申请公布日期 1984.02.27
申请号 JP19820145471 申请日期 1982.08.24
申请人 NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA 发明人 SAKUMA KAZUTO;ARITA MUTSUNOBU;AWAYA NOBUYOSHI;SATOU MASAAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/73 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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