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发明名称 CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 IE832000(L) 申请公布日期 1984.02.27
申请号 IE19830002000 申请日期 1983.08.26
申请人 ANICON INC. 发明人
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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