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发明名称 PURIFICATION OF SILICON NITRIDE
摘要
申请公布号 JPS5935008(A) 申请公布日期 1984.02.25
申请号 JP19820143449 申请日期 1982.08.20
申请人 ONODA CEMENT KK 发明人 ITOU TAKAO
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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