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发明名称 스퍼터링(sputterlng) 장치
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840000666(A) 申请公布日期 1984.02.25
申请号 KR19820003216 申请日期 1982.07.20
申请人 null, null 发明人 이다바 다게시 (외 4)
分类号 C23C14/42;C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/42
代理机构 代理人
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