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发明名称 고율 스퍼터링(sputtering) 장치 및 방법
摘要 <p>내용 없음</p>
申请公布号 KR840000665(A) 申请公布日期 1984.02.25
申请号 KR19820003138 申请日期 1982.07.14
申请人 null, null 发明人 제이므즈 디이 크랭크
分类号 C23C14/36;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
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