| 发明名称 |
PARTICLE BEAM DEFLECTING STRUCTURE AND METHOD OF DRIVING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5933743(A) |
申请公布日期 |
1984.02.23 |
| 申请号 |
JP19830131782 |
申请日期 |
1983.07.19 |
| 申请人 |
SIEMENS SCHUCKERTWERKE AG |
发明人 |
EERITSUHI PURIISU |
| 分类号 |
H01J37/12;H01J3/30;H01J29/74;H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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