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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5929038(U)
申请公布日期
1984.02.23
申请号
JP19820123770U
申请日期
1982.08.17
申请人
发明人
分类号
H01L21/68;G03F1/00;G03F1/66;H01L21/67
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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