| 发明名称 |
PLANETARY SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8401381(D0) |
申请公布日期 |
1984.02.22 |
| 申请号 |
GB19840001381 |
申请日期 |
1984.01.19 |
| 申请人 |
MULTI-ARC VACUUM SYSTEMS INC |
发明人 |
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| 分类号 |
B05B13/02;B65G29/00;C23C14/24;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458;(IPC1-7):C23C13/08 |
主分类号 |
B05B13/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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