发明名称 CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP0007596(B1) 申请公布日期 1984.02.22
申请号 EP19790102576 申请日期 1979.07.20
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 SHIMADA, SATOSHI;KAWAKAMI, KANJI;NISHIHARA, MOTOHISA
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L13/02;(IPC1-7):01L9/12;01L7/08 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
地址