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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG HALOGENHALTIGER PLASMA-PROZESSABGASE
摘要
申请公布号 DD207157(A1) 申请公布日期 1984.02.22
申请号 DD19820238797 申请日期 1982.04.07
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD 发明人 TILLER,HANS-JUERGEN,DD;LANGGUTH,BURKHARD,DD;DUMKE,KARIN,DD;VOIGT,REINHARD,DD;CLAUSS,MATTHIAS,DD;FENDLER,REINHARD,DD;WENZEL,MARTIN,DD
分类号 B01D53/34;(IPC1-7):B01D53/34 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
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