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发明名称
摘要
申请公布号 JPS598057(B2) 申请公布日期 1984.02.22
申请号 JP19760049786 申请日期 1976.04.30
申请人 SIEMENS AG 发明人 UORUFUGANGU DEIITSUE
分类号 C01B33/02;C30B13/08;C30B15/04;C30B29/06;C30B31/20;H01L21/208;H01L21/261 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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