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发明名称
摘要
申请公布号 JPS598056(B2) 申请公布日期 1984.02.22
申请号 JP19780142410 申请日期 1978.11.20
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 MARIAN BURISUKA;BORUFUGANKU UEE HOFUMEISUTAA;KURAUSU PIITAA TEIERU
分类号 C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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